В Москве запущено производство элементов литографического оборудования нового поколения
3 июля на территории Технополиса «Москва» запущена линия по производству одного из наиболее наукоемких и центральных компонентов безмасочных литографов голландской компании Mapper Lithography — элементов электронной оптики на основе МЭМС (микроэлектромеханических систем).
Компания, одним из акционеров которой является РОСНАНО, вложила в организацию нового производства в Технополисе «Москва» около 1 млрд рублей."Mapper Lithography" более 10 лет разрабатывает технологии электронно-лучевой безмасочной литографии. Литографические машины применяются при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных микросхем, а также некоторых сверхпроводниковых наноструктур.
Планируется, что запущенная производственная линия полностью покроет потребности компании в элементах электронной оптики для литографических машин.( Collapse )